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空气过滤器技术资料

发布:hygl 浏览:774次

AMC去除

 

     对微电子制造业来说,空气中 危害生产工艺和产品并因此引起成品率降低的化学物质,称为“分子级污染物”(或气载分子污染物),英文简称“AMC”。分子污 染物的尺寸比粒子要小得多,相差几个数量级,高效过滤器HEPA或者超高效过滤器ULPA根本无法去除AMC。

多年的 理论和实践证明,化学过 滤是低浓度气体污染物最为经济有效的去除方法,几乎可 以去除所有的气体污染物,在工业排风、溶剂回 收等高浓度场合也在大量使用,是一项安全、可靠、成熟的技术。

 

什么是AMC

 

     危害生 产工艺并因此导致成品率降低的空气中的分子态化学物质,称为“分子级污染物”(或气载分子污染物),英文简称“AMC”。 AMC包括空 气中的多种有害气体和金属离子。国际半 导体技术与材料协会(SEMI)根据AMC的化学 性质以及对生产工艺的危害,对其分为四类:酸性(MA)﹑ 碱性(MB), 可凝性(MC)和掺杂性(MD)。(1)酸性AMC :能够接受电子(受主)的化学 腐蚀性气相物质。如氟化氢(HF),二氧化硫(SO2)等。(2)碱性AMC:能够施于电子(施主)的化学 腐蚀性气相物质。如氨气(NH3),六甲基二硅醚(HMDSO)等。(3)可凝性AMC:常温常压下,能够在干净表面(如硅片)凝结的气相物质。如硅烷,二丁基甲酚(BHT),大分子碳氢化合物等。(4)掺杂性AMC:能够改 变半导体材料导电性的化学物质。如硼(B),磷(P)等。HEPA高效过滤器和ULPA超高效过滤器

 

       HEPA 是英语high efficiency particle air filter的缩写形式,ULPA是英语 ultra low penetration air filter的缩写形式。

 

根据EN1822 分级,HEPA分为五个等级,即H10﹑H11﹑H12﹑H13和H14;ULPA分为三个等级,即U15﹑H16和H17。HEPA和ULPA过滤器 是洁净室的心脏,所以要 保证洁净室的洁净度,要对过 滤器进行逐台扫描检测,下表是 不同等级过滤器对效率的最低要求。例如H13对MPPS的最低效率为99.95%,一般记作:效率 99.95% at MPPS, 这与“效率 99.95% at 0.12 ”或“效率 99.95% at 0.3 ”完全不同,因为0.12 或0.3 不一定 是该过滤器的最易穿透粒径,对于HEPA 和ULPA超高效过滤器,一定要 知道该过滤器的“最易穿透粒径MPPS”是多少。

 

什么是MPPS

 

       MPPS 是英文most penetrating particle size 的缩写,是最易 穿透粒径的意思,即最低效率粒径。换句话说,高效过 滤器在某一粒径处的效率存在最低点。

很多人会误认为,灰尘粒子越小,越不容易去除,其实不然。过滤器 去除粒子的机理,主要包括扩散﹑拦截﹑惯性和筛效应。如图所示,四种机 理综合效应的结果对某一粒径的粒子去除效率最低,这一粒径通常在0.1-0.2 ,但是该粒径究竟是0.11 ﹑0.13 ﹑0.15 还是其它数值,会因过 滤材料或过滤器结构而不同。因此对于高效过滤器HEPA或超高效过滤器ULPA而言,一定要供应商告诉您MPPS效率是多少,这样就 可以保证过滤器对其它粒径的效率肯定比MPPS效率高!


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